Радиофизический факультет был открыт в 1953 году на базе трех кафедр физического факультета.
Подготовка специалистов в области радио в Томском университете началась значительно раньше: с 1923-24 учебного года, когда по инициативе профессора В.Д. Кузнецова (впоследствии академика), на физическом отделении физико-математического факультета была открыта специальность «электрическая связь», переименованная позднее в специальность «электромагнитные колебания и волны».
Одним из первых преподавателей радиотехники был бывший студент Казанского университета, а затем работник военно-технического учреждения, так называемой третьей базы радиотелеграфных формирований, А.Б. Сапожников.
В 1923-25 годах А.Б. Сапожниковым, бывшим армейским радистом Б.Н. Путковым, а также первыми студентами радиоспециализации была создана радиолаборатория, позволившая обеспечить учебный процесс и приступить к первым научным исследованиям. В эти же годы была построена первая в Сибири коротковолновая станция ТУК (Томск, Университет, Короткие). С помощью этой станции по заданию Нижегородской радиолаборатории с 1925 года велись исследования по распространению коротких радиоволн на очень длинной трассе: Нижний Новгород — Томск. Станция вела работу круглосуточно в течение четырех лет. Большую помощь в работе радиостанции оказывали студенты радиоспециализации.
Учеба и научная работа уже с самого начала подготовки радиоспециалистов в Томском университете стали неразделимы. Эта хорошая традиция и сейчас лежит в основе подготовки радиофизиков в ТГУ. Среди первых студентов радиоспециализации особенно выделялись А.С. Балакшин и В.Г. Денисов. А.С. Балакшину во многом обязано развитие радиолюбительства и радиовещания в Томске, много лет позднее А.С. Балакшин занимался технологией печатных схем, микроминиатюризацией приборов. Он был главным конструктором приемников «Волна» и «Планета», удостоенных диплома «Гран при» и золотой медали Всемирной выставки в Брюсселе в 1958 году. С именем В.Г. Денисова связаны первые опыты по телевидению в начале 30-х годов и активное участие в создании первой ионосферной станции.
Важными вехами в развитии подготовки радиоспециалистов в университете стали открытие в 1926 году цикла (кафедры) электромагнитных колебаний и в 1928 году Сибирского физико-технического института (СФТИ).
В 1930 году кафедру электромагнитных колебаний возглавил выпускник Ростовского университета молодой кандидат физико-математических наук В.Н. Кессених. Он стал также во главе отдела колебаний СФТИ. В.Н. Кессених развернул подготовку специалистов по ряду важных направлений: физике диэлектриков, электродинамике излучающих систем, теории нелинейных колебаний.
С 1932 года СФТИ вошел в систему университета. В здании на площади Революции перешли учебные подразделения физиков. Таким образом уже в те годы в университете образовался единый научно-учебный комплекс подготовки специалистов-физиков, в том числе и радиофизиков.
С середины 30-х годов по заданию главного инженера Кузнецкого металлургического комбината академика И.П. Бардина в СФТИ были начаты работы по рельсовой дефектоскопии, положившие начало большому комплексу исследований в области теории электромагнитных процессов в магнитных и немагнитных телах и развитию специализации по дефектоскопии которую возглавил А.Б. Сапожников. В 1936 году по заданию академии Наук СССР под руководством В.Н. Кессениха и при активном участии студентов радиоспециализаций была сконструирована и построена ионосферная станция, ставшая первой в Союзе и пятой в мире регулярно действующей ионосферной станцией. В этом же 1936 году, была открыта кафедра физики диэлектриков первым заведующим которой был доцент К.А. Водопьянов. К началу 40-х годов на физико-математическом факультете ТГУ велась подготовка специалистов по физике ионосферы, электромагнитным методам контроля и физике диэлектриков.
В послевоенные годы резко возрос спрос на специалистов-физиков различных специальностей. В 1948 году происходит разделение физико-математического факультета на два: физический и механико-математический.
С 1949 года по указанию правительства на физическом факультете при кафедре электромагнитных колебаний начинается подготовка специалистов по физике и технике сверхвысоких частот (СВЧ). Осенью 1952 года открывается кафедра радиофизики, первым заведующим которой становится доцент Б.П. Кашкин. Весной 1953 года кафедру радиофизики возглавил уволившийся в запас из Советской Армии профессор В.Н. Кессених. В начале 1953-54 учебного года был открыт радиофизический факультет в составе трех кафедр: радиофизики, электромагнитных колебаний и физики диэлектриков. Деканом факультета в течение первых трех лет был В.Н. Кессених. Набор на факультет в первые годы составлял 100 человек, увеличиваясь в конце 50-х годов до 200.
В пятидесятые годы расширяется круг исследовательских работ и их объем в СФТИ, организуются новые лаборатории, расширяются научные связи с другими научными учреждениями страны. Параллельно появляются новые специализации на кафедрах факультета. На кафедре физики диэлектриков начинается подготовка специалистов по физике полупроводников. В 1958 году кафедра была переименована в кафедру полупроводников и диэлектриков. Возглавил кафедру профессор В.А. Преснов.
С 1957-58 учебного года на кафедре радиофизики начата подготовка студентов по специальности «электронно-вычислительная техника и автоматика». ЭВТ и А новая специальность базировалась на созданной тогда же проблемной лаборатории счетно-решающих устройств ТГУ, оснащенной первой в Сибири ЭВМ. В 1960 годы открыта кафедра электронно-вычислительной техники и автоматики (ЭВТ и А), которую возглавил Ф.П. Тарасенко. На базе кафедры ЭВТ и А в 1962 году создана кафедра статистической радиофизики и общей теории связи во главе с Ф.П. Тарасенко. Кафедру ЭВТ и А возглавил Г.А. Медведев. Позднее в 1970 году по инициативе Г.А. Медведева на базе этих кафедр и кафедр механико-математического факультета был открыт факультет прикладной математики и кибернетики.
В марте 1960 года были открыта кафедра радиоэлектроники, которую в течении 10 лет возглавлял доцент Э.С. Воробейчиков.
В 1962 году на базе лаборатории инфракрасных излучений СФТИ, организованной В.Е. Зуевым, открыта кафедра оптико-электронных приборов.
В 1963 году радиофизический факультет переехал из здания СФТИ на площади Революции в новый 2 учебный корпус ТГУ.
В 1969 году на базе кафедры радиоэлектроники была создана кафедра квантовой электроники, которая с 1975 года стала называться кафедрой квантовой электроники и фотоники.
В 1978 году на факультете была создана лаборатория автоматизации измерений. Сейчас это лаборатория автоматизации радиофизических исследований.
С 1970 года по 1990 год факультет работал в составе пяти кафедр: радиофизики, теоретических основ радиоэлектроники (до 1964 года — электромагнитных колебаний), физики полупроводников и диэлектриков, оптико-электронных приборов, квантовой электроники и фотоники.
В 1990 г. на РФФ с факультета прикладной математики и кибернетики была переведена кафедра математической логики и проектирования, преобразованная при переходе с РФФ на ФПМК из кафедры ЭВТ и А.
С 1993 года РФФ начал постепенно перебазироваться из 2-го учебного корпуса в лабораторный корпус СФТИ в районе площади Южная. В 1998-99 учебном году переезд был завершен.
В 1996 году на факультете была открыта новая кафедра — кафедра космической физики и экологии. Возглавил кафедру член МАН ВШ, директор СФТИ, профессор А.Г. Колесник.
За время существования радиофизического факультета существенно расширилась научная база факультета. С 1964 года базой подготовки специалистов в области физики полупроводников и полупроводниковой электроники стал институт полупроводниковых приборов (НИПП), первым директором которого был профессор В.А. Преснов. В 1969 году на базе лаборатории инфракрасных излучений СФТИ был открыт Институт оптики атмосферы (ИОА) Сибирского Отделения Академии Наук. Базовыми институтами стали также Институт сильноточной электроники (ИСЭ) и Институт оптического мониторинга (ИОМ). В 1997 году в ИСЭ и ИОА открыты филиалы кафедр радиофизики и квантовой электроники и фотоники.
А.Г. Коротаев,
декан РФФ
Маятник Цельнера — прибор для демонстрации изменения силы лунного притяжения.